实验室型等离子清洗机

工作原理介绍

主要技术参数:

产品特点

• 7寸彩色触摸屏中英文互动操作界面，自动控制监测工艺参数状态， 20个配方程序，工艺数据可存储追溯。

• PLC控制整个清洗过程，手动、自动两种工作模式。

• 采用美国德威尔 (DWYER) 气体浮子流量计或质量流量计(CPC-FM),可输入氧气、 氩气、氮气 氢气或混合气等气体， 气体控制精准。

• 气体返填吹扫，HEPA高效过滤，防止二次污染。

• 316不锈钢、石英真空舱可选择，全真空管路系统采用316不锈钢材质，耐腐蚀无污染。

• 采用60度倾角操作面板设计，符合人体功能学，操作方便，界面友好。

• 上控制下舱体结构设计，结构紧凑，占地空间小。

• 内凹式前面板设计，有效保护流量计和舱门不易损坏。

• 处理快速高效均匀，无污染，工艺重复性好。

• 样品处理温度低，无热损伤和热氧化。

• 安全保护，舱门打开，自动关闭电源。