电镜制样解决方案-辉光放电清洗仪

等离子电流

0 至 30 mA

电源功率

30W 额定

辉光放电头极性

可切换正极或负极

样品台尺寸

Ø90mm，带 25×75mm 载玻片凹槽

辉光放电处理时间

1s 至 9999s

样品腔室内径尺寸

Ø110 × 130mm

真空检测

皮拉尼真空计，测量范围大气到 0.01mbar

工作真空范围

10pa（0.1mbar） 至 120Pa（1.2mbar）

系统控制/显示

7 英寸 TFT 彩色触摸屏，带三挡背光可调

主机尺寸

260mm×400mm×365mm(L x D x H)

主机重量

11kg（净重）

机械泵尺寸

440mm×144mm×217mm（L×D×H）

机械泵重量

19kg

额度功率

主机 60W，真空泵 400W