电镜制样解决方案-单束离子研磨仪

单束离子研磨仪

型号：HSC121

产品展示:

真空系统

• 真空获得：前级机械泵，后级分子泵

• 极限真空：优于10-4Pa

离子枪

• 离子枪种类：鞍型场枪，非聚焦

• 离子枪数量：1把

• 离子枪加速电压：0~10kV

• 离子枪工作电流：最大6mA

• 离子枪工作气体：氩气，纯度高于99.999 %

• 进气气压：200~800mbar

• 气体流速：小于1sccm ，控制精度1%

• 离子枪套件寿命：不小于200h

抛光样品台

• 样品台旋转：支持360°连续旋转，电机驱动

• 样品台倾转：手动拨动，最大25°

切割样品台

• 样品台旋转：支持中心线摆动，电机驱动

• 样品台倾转：手动拨动，最大25