电镜制样解决方案-SEM 真空冷冻传输系统-型号：LSCT100

• 真空获得：前级机械泵，后级分子泵
  

• 极限真空：优于10-4Pa
  

  冷冻固定
  

• 液氮泥温度：约-210℃

  冷冻断裂
  

• 万向轴冷冻断裂刀断裂

  冷冻升华
  

• 控温范围：优于-165℃~+105℃
  

• 控温精度：优于0.5℃

  冷冻镀膜
  

• 镀膜方式：离子束溅射镀膜
  

• 镀膜用离子枪：宽束鞍型场枪
  

• 离子枪电压：0~10kV
  

• 离子枪气源：氩气，0~1sccm 可调，精度1%
  

• 靶材数量：支持同时安装四种不同的靶材
  

• 靶材种类：支持常见金属靶材和碳靶材
  

• 靶材尺寸：直径28mm 圆形，厚度不超过1mm

  真空冷冻转移
  

• 转移仓通径：宽40mm ，高30mm
  

• 转移仓开闭方式：电动

  电镜冷台及冷阱
  

• 冷台温度：优于-165℃
  

• 冷阱温度：优于-185℃
  

• 控温精度：优于0.5℃
  

• 致冷方式：液氮杜瓦

应用案例

北京中科汇束科技有限公司