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多功能镀膜仪KGVC5000

发表时间:2024-05-24 13:32
货号:KGVC5000
类型:低真空多功能镀膜仪
应用领域:金属镀膜(Au、Pt等)和蒸发镀碳膜

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产品特点:
  • 全自动控制,一键式操作;配备磁控溅射逐渐和热蒸发镀膜组件,即可实现磁控溅射各种金属膜,也可实现热蒸发度碳膜。
  • 双组件共存,工作时只需将样品放置与对应的组件下方即可,无需更换组件,操作非方便。
  • 7英寸TFT触摸屏,全数字显示
  • 两种工作模式一键切换,每次开机自动进入上次关机的工作模式
  • 软硬件互锁、安全可靠
  • 旋转样品台,可手动/自动控制
  • 全自动防污染挡板,在磁控溅射模块工作时自动切换到镀碳组件,防止蒸发源收到污染,反之亦然

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主要技术参数:
  • 蒸发源:高纯碳纤维
  • 真空泵抽速:1.1L/s(旋片式真空泵)
  • 适用靶材:金、铂、钯、银、铜、锡、锌等
  • 蒸发模式连续加热、脉冲加
  • 选配:膜厚仪—实时监控镀膜过程

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